Microfabbricazione Elveflow

Nome strumento

Piattaforma di microfabbricazione Elveflow

Foto

Descrizione dello strumento

La piattaforma di MicroFabbricazione Elveflow è composta da due stazioni: una per la preparazione di stampi (mold) su wafer di silicio con resina fotoresistente (photoresist); e una per la replica dei mold (fabbricazione di chip) in Polidimetilsilossano (PDMS).

La prima stazione è composta da: una piastra riscaldante (per trattare il wafer di silicio e il mold), uno Spin-Coater (per diffondere il materiale fotoresistente sul wafer allo spessore desiderato), una Lampada UV (per permettere la reticolazione del materiale fotoresistente e creare la maschera desiderata).
La seconda stazione è composta da: una stufa (per trattare il mold e il PDMS), un Plasma Cleaner (per completare lo step di bonding per la replica dei mold).

A corredo: una bilancia tecnica e un essiccatore sottovuoto.

Referenti Scientifici

Costanza Montis, Stanza 322 (edificio 301)

Massimo Bonini, Stanza 302 (edificio 301),

Referenti Tecnici

Luisa Lascialfari, ed. 302, st. 241

Martina Giannoni, ed. 302, st. 241

Patrizia Andreozzi ed. 302, st. 241

Eventuale Moderatore

referenti tecnici

Collocazione

Edificio 301 (Lastruccia 3)

Piano primo

Laboratorio 175

Modalità di utilizzo

Diretto, previa breve formazione on-site da parte del referente tecnico. (modulo C1 (nuovo) )

Manuale di utilizzo

Breve guida pratica di utilizzo

Regolamento di utilizzo

Regolamento_Accesso

Caratteristiche dei calendari di prenotazione

Prenotazione con credenziali (solo per abilitati all’uso diretto e autorizzati alla
prenotazione tramite modulo C1, v. sopra). Disdetta via email al moderatore.

• Vai al calendario

Registro utilizzo

Digitale online

Cartaceo

Archiviazione dati

Non prevista

Tariffe per uso interno

v. tariffario

Tariffe per uso esterno

v. tariffario

Nome e Cognome

Matricola

Utente

esterno

RADR

Autorizzato a prenotare

Data di scadenza dell’abilitazione